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(1) 金属, 合金或绝缘物均等素材均可进行薄膜披覆。 (2)在适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。 (3)利用放电气氛中加入活性气体,可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。 (4)可得到高精度的膜厚。 (5)工件与薄膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上。 |
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真空溅镀技术应用层面广泛,可成科技开发真空溅镀技术用于: (1)装饰镀膜:可在金属、塑料、复合材料之表面形成多种颜色,可用于手机与笔电等之机壳装饰。 (2)刀具模具镀膜:高硬度、耐磨耗、低摩擦系数、抗沾黏等特性以增进使用寿命和加工良率,可用于CNC刀具与各种模具使用。 (3)治具与机械零件之保护镀膜:增进耐蚀与耐磨耗等可增进寿命降低更换率,可用于设备零件与拉丝、抛光等加工治具之保护。 |
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